福建日报2024年10月14日发布:国家大基金二期投资版图再扩大！新入股一家半导体清洗设备公司，已布局13家产业链标的

本次增资前，至微科技注册资本为4.55亿元，估值25亿元（增值率485.36%），对应5.4945元/注册资本。增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

按上述比例测算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元。

实际上，除了大基金二期，其余增资方也背景深厚。

其中，混改基金（中国国有企业混合所有制改革基金）是经国务院批准设立的“国家级”基金，基金总规模2000亿元，首期募集资金就达到707亿元。中芯聚源（中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业）的背后则有国资和中芯国际。装备材料基金（上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业）的股东也有国家大基金的身影，重点围绕集成电路装备材料产业开展投资。

至纯科技为何能引来这么多明星资本的青睐？从其主营业务来看，正是国家大基金二期重点投资的半导体设备领域。

公开资料显示，至纯科技主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件，而旗下至微科技的主业就是半导体湿法清洗设备。

公司称，至微科技成立以来，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次引入战投，是为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力。

上半年公开数据显示，至纯科技的半导体设备在快速增长。上半年公司新增订单中半导体板块新增订单14.2 亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的 85%，其中单片设备新增订单2亿元。

安信证券电子行业分析师马良向记者指出，“此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清洗设备发展有望加速。”

加速布局半导体设备领域

目前半导体设备本土生产上升到国家战略层面，半导体设备也被公认为最“卡脖子”的环节之一。

就工艺而言，清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额。

根据信达证券的研报，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局，当前湿法清洗设备国产化率约达20%。

公告显示，至纯科技已具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。

作为半导体清洗设备的重点厂商之一，至纯科技受到顶级产业基金的青睐也就不足为奇。

21世纪经济报道记者梳理发现，就目前大基金二期的布局来看，已经重点向设备领域倾斜。

据启信宝数据，除了至纯科技，目前大基金二期公开投资项目已有12个，包括：杭州长川智能制造公司、润西微电子（重庆）有限公司、中芯南方集成电路制造有限公司、思特威（上海）电子科技股份有限公司、珠海艾派克微电子有限公司、紫光展锐（上海）科技有限公司等。其中有4家与半导体设备相关，4家与晶圆制造相关。

申港证券分析师曲一平此前向记者指出，大基金二期的投资同样覆盖了芯片设计、制造、封测、材料以及设备等产业链环节，但可看到目前仍较多投向了制造环节，更聚焦设备、材料领域，加大投资。

目前，大基金二期对上述总投资已近300亿元，背后涉及的上市公司有长川科技、长鑫存储、中芯国际、纳斯达、华润微等。

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